除了AE射頻電源外，AE中頻電源也需要進(jìn)行維修。AE中頻電源是一種向下轉(zhuǎn)換器，將高頻信號(hào)轉(zhuǎn)換為中頻信號(hào)，使其更易于處理。與AE射頻電源一樣，AE中頻電源也需要相應(yīng)知識(shí)和技能才能正確地進(jìn)行維修。因?yàn)樗麄兙哂谐渥愕闹R(shí)、技能和經(jīng)驗(yàn)，可以準(zhǔn)確分析和解決各種故障。

RF MATCH AE3155162-037C是一臺(tái)高頻射頻電源，用于提供穩(wěn)定的高頻電源，其工作頻率范圍在13.56MHz到27.12MHz之間。如果這個(gè)設(shè)備出現(xiàn)故障，將會(huì)對(duì)整個(gè)系統(tǒng)產(chǎn)生災(zāi)難性的影響，會(huì)導(dǎo)致整個(gè)系統(tǒng)崩潰。當(dāng)這個(gè)設(shè)備出現(xiàn)故障時(shí)，需要盡快進(jìn)行維修，以確保整個(gè)系統(tǒng)的正常運(yùn)行。

AE電源維修包括：靶材電源，等離子電源，鍍膜機(jī)電源，射頻電源，ICP電源，鍍膜機(jī)控制器，RF電源，匹配器，電源控制器，氧化源控制器，檢測(cè)儀，IB電源，離子源，鐳射切割機(jī)，鍍膜厚儀等電源維修。

主要服務(wù)于太陽能光伏、PVD鍍膜，半導(dǎo)體薄膜、離子注入、刻蝕，平板顯示，光盤、光電子LED等制造工藝以及科研院校、技術(shù)研究所等設(shè)備的高壓、直流、射頻電源。主要包括高壓電源HV PSU、射頻電源RFG、匹配網(wǎng)絡(luò)RF Match、直流電源DC POWER、溫度控制器Thermo Chiller，微波發(fā)生器等，提供設(shè)備維護(hù)維修保養(yǎng)整包、批量產(chǎn)品維修。