射頻電源維修注意事項：

在更換完器件后,上電前應對其相關(guān)器件進行測量,是否出現(xiàn)短路現(xiàn)象(如整流橋、IGBT管、電源輸入輸出部分、功率器件輸入輸出等等);

對于機器工作不穩(wěn)定或工作時好時壞,可檢查箱內(nèi)主電路的螺釘、接線端子等等是否松動(在運輸中有可能會出現(xiàn))、接線端氧化等,老電源或使用環(huán)境差的電源應注意內(nèi)部是否積了很多灰塵(可用儀器吹掉);如箱內(nèi)積有很多油污且使用期很長,不可修應報廢處理。

在維修時,對于客戶要求維修的電源,不能私自拆掉內(nèi)部扎帶、控制板剪掉接線或到處亂接亂改,有可能會造成對整機干擾或性能下降,如退回時,老電源因規(guī)范的問題,很多都沒有接線圖,可能會給維修帶來很大難度。

美國SEREN電源維修（SEREN射頻匹配器）包括：

R系列射頻電源：R301-13、R601-13、R1001-13、R1001/1.2、R2001-13、R5001-13、R5001-13、R10,001-13、R15,001-13、R20,001-13，R600

HR系列射頻電源：HR601、HRL1001、HR1501、HR2001-AC、HR2001、HR3001、HR5001